• 准分子激光器248nm

    详细信息

     品牌:ATL  型号:ATLEX  加工定制:是  
     波段范围:准分子  激光方式:化学式  工作物质:气体  
     光路径:参考说明  输出形式:参考说明  传输信号:参考说明  
     输出波长:参考说明 mm 线宽:参考说明 mm  
    248nm准分子激光器产品特点:
    全部实现风冷,无需水冷;
    结构紧凑,脉冲频率高,*高重复频率到1kHz
    全新技术金属-陶瓷腔体;
    光束均匀性好
    集成的真空泵和卤素滤光片
    激光头体积<3L
    提供能量稳定模式,保证能量稳定输出;
     
    248nm准分子激光器应用:
    微加工
    激光融蚀
    医学(眼睛手术)
    光谱
    计量
    光纤布拉格光栅刻写
     248nm准分子激光器参数
    ATLEX-300-I 参数
    ATLEX-300-I 参数
    气体介质 F2 ArF KrF XeCl XeF 单位
    波长 157 193 248 308 351 nm
    高压开关技术 固态开关  
    *大脉冲能量1 1 10 15 8 7 mJ
    *大平均功率 0.2 2.4 4.0 2.0 1.7 W
    *大重复频率 300 Hz
    脉宽2 5-8 ns
    光斑尺寸(V*H 4*6 mm
    光束发散角(V*H 1*2 mrad
    能量稳定性 <3 %
    尺寸(L*W*H 540*470*370 mm
    重量 60 kg
    制冷 风冷  
    供电要求 230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz  
    1. 在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
    2. 典型值,半高全宽(FWHM
     
    ATLEX-500-I 参数
    ATLEX-500-I 参数
    气体介质 F2 ArF KrF XeCl XeF 单位
    波长 157 193 248 308 351 nm
    高压开关技术 固态开关  
    *大脉冲能量1 1 10 15 8 7 mJ
    *大平均功率 0.5 4.0 6.5 3.0 2.5 W
    *大重复频率 500 Hz
    脉宽2 5-8 ns
    光斑尺寸(V*H 4*6 mm
    光束发散角(V*H 1*2 mrad
    能量稳定性 <3 %
    尺寸(L*W*H 540*470*370 mm
    重量 60 kg
    制冷 风冷  
    供电要求 230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz  
    1. 在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
    2. 典型值,半高全宽(FWHM
     
    ATLEX-1000-I 参数
    ATLEX-1000-I 参数
    气体介质 ArF KrF 单位
    波长 193 248 nm
    高压开关技术 固态开关
    *大脉冲能量1 10 15 mJ
    *大平均功率 4.0 6.5 W
    *大重复频率 1000 Hz
    脉宽2 5-8 ns
    光斑尺寸(V*H 4*6 mm
    光束发散角(V*H 1*2 mrad
    能量稳定性 <3 %
    尺寸(L*W*H 540*470*370 mm
    重量 60 kg
    制冷 风冷  
    供电要求 230 VAC/10A/1 phase/50-60Hz  
    1. 在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
    2. 典型值,半高全宽(FWHM
     
    ATLEX-300-FBG 参数
    ATLEX-300-FBG 参数
    气体介质 ArF KrF 单位
    波长 193 248 nm
    高压开关技术 固态开关
    *大脉冲能量1 10 15 mJ
    *大平均功率 2.4 4.0 W
    空间相关性(垂直方向) >300 >300 um
    *大重复频率 300 Hz
    脉宽2 5-8 ns
    光斑尺寸(V*H 4*6 mm
    光束发散角(V*H 1*2 mrad
    能量稳定性 <3 %
    尺寸(L*W*H 540*470*370 mm
    重量 60 kg
    制冷 风冷  
    供电要求 230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz  
    1. 在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
    2. 典型值,半高全宽(FWHM
     
    ATLEX-500-FBG 参数
    ATLEX-500-FBG 参数
    气体介质 ArF KrF 单位
    波长 193 248 nm
    高压开关技术 固态开关
    *大脉冲能量1 10 15 mJ
    *大平均功率 4.0 6.5 W
    空间相关性(垂直方向) >300 >300 um
    *大重复频率 500 Hz
    脉宽2 5-8 ns
    光斑尺寸(V*H 4*6 mm
    光束发散角(V*H 1*2 mrad
    能量稳定性 <3 %
    尺寸(L*W*H 540*470*370 mm
    重量 60 kg
    制冷 风冷  
    供电要求 230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz  
    1. 在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
    2. 典型值,半高全宽(FWHM
     
    ATLEX-LR 参数
    ATLEX-LR 参数
    气体介质 ArF 单位
    波长 193 nm
    *大脉冲能量1 12 mJ
    *大稳定输出能量 10 mJ
    脉宽2 5 Ns
    光斑尺寸(V*H 4*6 mm
    光束发散角(V*H 1*2 mrad
    能量稳定性 <2 %
    尺寸(L*W*H 540*470*370 mm
    重量 60 kg
    制冷 风冷  
    供电要求 230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz  
    1. 在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
    2. 典型值,半高全宽(FWHM
     ATL Lasertechnik GmbH公司成立于1993年,并于1994年在生产世界上*台紧凑、高重频、短脉冲准分子激光器时取得了在紫外激光技术上的突破。并在后续的系列产品开发中取得创新型的成就,到目前为止,ATL的准分子产品已处于世界领导水平,并获得了预电离及发射等领域的专利。后续ATL公司会继续致力于紧凑的,短脉冲准分子激光器的开发,以保持在该行业的领先水准。
     
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